質(zhì)譜分析法是一種高度敏感的技術(shù)，可對復(fù)雜混合物進(jìn)行微量分析，因而需要使用高純度水。

電感耦合等離子體質(zhì)譜分析法 (ICP-MS)

現(xiàn)代分析儀器的進(jìn)步繼續(xù)提高了微量金屬分析的靈敏度，如今，測定元素可達(dá) ppt 和次 ppt 水平。 電感耦合等離子體質(zhì)譜分析法 (ICP-MS) 能夠檢測至 ppq 水平 （千萬億分之一）的微量金屬。 該流程通過電離樣品，然后使用質(zhì)譜法分離和測定離子來實現(xiàn)。 由于其靈敏度要求非常高，建議使用 1/1+ 級水，以保證純度水平。

氣相色譜-質(zhì)譜分析法 (GC-MS)

該方法將氣相色譜分析法與質(zhì)譜分析法相結(jié)合，用于識別不同的物質(zhì)。它具有非常廣泛的應(yīng)用，如藥物檢測和環(huán)境分析。 測定環(huán)境中的 EDC 和 VOC 含量時，可選擇吹掃和捕集 GC-MS 技術(shù)。 該技術(shù)對水純度的要求極為嚴(yán)格，從而保證非常低的 TOC 水平。 基于此，此技術(shù)使用 1 級水。

液相色譜-質(zhì)譜分析法 (LC-MS)

LC-MS 是一種高度通用的技術(shù)，它將液相色譜分析法的物理分離與質(zhì)譜分析法的分析能力結(jié)合起來。 在該技術(shù)中，樣品會在被檢測和識別之前被分離，因而具有許多不同的應(yīng)用潛力。 與 GC-MS 相比，這種技術(shù)可以分析更多的分析物。 針對這一應(yīng)用，通常建議使用 1 級水。